电容薄膜真空计 属弹性元件真空计，弹性薄膜将规管真空室分为两个小室，即参考压强室和测量室。测量低压强 (P<100帕)时，参考室抽至高真空,其压强近似为零。当测量室压强不同时，薄膜变形的程度也不同。在测量室中有一固定电极，它与薄膜形成一个电容器。薄膜变形时电容值相应改变，通过电容电桥可测量电容的变化从而确定相应压强值。为了防止薄膜发生蠕变，通常采用零位法测量，即在固定电极...

近几年来，电容式薄膜真空计取得了重大突破，新型的双电容式薄膜真空计的问世，提升了该类真空计的精度，扩展了测量范围，使之测量下限达到10-3Pa。现以两种双电容式薄膜真空计的结构为例介绍电容式薄膜真空计的最新进展。 第一种是差动式双电容薄膜真空计 如下图所示的新式双电容式薄膜真空规是一类差动式结构。在弹力膜片3的两侧对称装有固定电极1和2，分别为形成静态电容C01和C02。弹力膜片3将规管分隔成...

薄膜规真空计是一种常用的高精度真空计，广泛应用于半导体、平板显示器、太阳能电池等领域。薄膜规真空计的校准是保证其测量准确性的关键步骤。以下是一种薄膜规真空计的校准方法及相关设备与流程的介绍： 校准设备：薄膜规真空计校准设备通常包括标准真空计、校准室、真空泵、气瓶、压力控制器等。 校准流程： ...