电容薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。 电容薄膜真空计原理是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化而制成的真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。 ...

皮拉尼真空计是一种热传导式真空计，属于直接测量式、全压型真空计。 皮拉尼真空计原理是加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度，由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化，热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系。 皮拉尼真空计的优点是灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命；两种原理的规管全过程都工作；mb...