CDG系列电容薄膜真空计

电容薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。

电容薄膜真空计原理是根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化而制成的真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。