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CDG-70A-C1
CDG-70A-C1
CDG-70A-C1

电容薄膜规是一种膜片受到压力后产生形变的引起电容变化并将其转化为电信号的传感器,信号的强弱由受到的压力大小决定。

CDG70系列是基于电容式测量单元开发的一款数字智能绝对压力变送器。测量单元由纯度大于99.9%的陶瓷膜片构成,具有不区分气体种类,高精度、无迟滞等优点。该系列产品全程采用最先进的数字处理技术,大大提高了传感器测量精度,和智能化程度,可以直接以数字信号输出压力值、温度值,适应过程控制的数字化趋势。

数字电路还可以提供传感器噪声抑制功能并提高了EMC兼容性、长期稳定性和温度补偿精度。同时考虑到客户传统电容薄膜规的使用习惯,本产品保留了传统模拟信号输出功能,可以无缝替换所有传统型号电容薄膜规。

产品概述
高要求的应用条件下,精确而快速的压强测量
用于刻蚀、CVD、PVD、ALD半导体制造设备
半导体,光学,航空航天和化学制造
冷冻,干燥制造设备


产品特点

测量全程数字化,量程在范围内任意迁移
数字通讯,避免二次仪表误差,简化控制设备
强大的抗过载能力
快速的响应时间
超过对外发布指标规格
高精度,高稳定性
超宽补偿温度范围:-20~+80℃
模拟信号任意迁移
量程范围:10%-100%
替代传统模拟信号电容薄膜规
快速开机预热时间5s
压力误差:2.0%。,电压误差:1%。

技术参数

性能参数

物理参数

电气参数(电压)

精度

0.2% F.S

壳体

316L

激励/输出

0-10VRS485

响应时间

100ms

尺寸

见尺寸图

电流消耗

10mA

耐压

40bar

电气链接

Dsub9

符合CE标准

符合

分辨率

0.01% F.S

压力接头

见尺寸图

符合RoSh

符合

长期稳定性

一年内误差±0.5%

材料

AL2O3

热效应

环境参数

温度补偿

温度

-20~60

零点漂移

±0.03%F.S/year

工作温度

-20~60

量程漂移

±0.03%F.S/year

储存温度

-40~135

线路图

尺寸图

订购信息




名称

型号/输出

量程范围

接口类别

密封圈

CGD

70A

0~5/10VDCRS485

4P

400Pa

1T

1 Torr

4F

4 Female VCR

00

Viton

70B

4~20mA

02

2KPa

5T

5 Torr

4M

4 MaleVCR

01

FFKM

7VS

2xRelay,RS485

05

5KPa

KT

10 Torr

8F

8 Female VCR

02

Customized

10

10KPa

TT

20 Torr

8M

8 MaleVCR

20

20KPa

HT

100 Torr

C1

Conflat Flang 16

40

40KPa

QT

1000 Torr

K1

NW16-KF

1H

100KPa

6M

600~1100mbar

K2

NW25-KF

2H

200KPa

8M

800~1100mbar

2T

1/2”Tube

4H

400KPa

CS

Customized

4T

1/4”Tube

1M

1MPa

8N

1/8”NPT内螺纹

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